Scantisch zum Abrastern sehr großer Wafer

Scantisch zum Abrastern sehr großer Wafer

Der neue Scantisch ist der größte klassische XY-Scantisch, der derzeit am Markt verfügbar ist. (Bildquelle: Steinmeyer Mechatronik)

Der neue Scantisch KT600-edlm des Dresdner Spezialisten für Positioniersysteme Steinmeyer Mechatronik erreicht mittels Kompensation Genauigkeiten, die bisher ausschließlich Luftlagersystemen vorbehalten waren, ist jedoch bei vergleichbarer Performance kostengünstiger. In seiner Genauigkeitsklasse ist der Scantisch derzeit der größte klassische XY-Scantisch am Markt.

Wiederholgenauigkeit von ±0,25 µm

Der neue Tisch in geschlossener Variante überzeugt mit erhöhten Verfahrwegen und optimierten Ablaufwerten. Mit seinem Hub von 450 mm gestattet der Scantisch auch das Abrastern sehr großer Wafer und Substrate in X- und Y-Richtung. Der Kreuztisch weist eine Wiederholgenauigkeit in Geradheit, Ebenheit und Positionierung von ±0,25 µm auf und bietet damit die Grundlage für hochgenaue Messaufbauten. Um dies zu erreichen, verwendet man bei der Konstruktion polierte Kreuzrollenführungen und eisenlose Linearmotoren. Der eisenlose Motor garantiert einen feinfühligen Antrieb ohne störenden Einfluss auf die Ablaufparameter. Gleichzeitig sorgt der Linearantrieb für eine hohe Dynamik. Die erreichbaren hohen Beschleunigungen von bis zu 5 m/s2 und Spitzengeschwindigkeiten von 330 mm/s prädestinieren das Positioniersystem für schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten. Da die Motoren in X- und Y-Richtung auf unterschiedliche bewegte Massen abgestimmt sind, ergibt sich ein homogenes Verhalten. Der Scantisch verhält sich also in beiden Achsen gleich. Um maximale Beschleunigungen zu erzielen und damit noch schneller scannen zu können, lassen sich beide Achsen auch gleich motorisieren. Typische Einsatzbereiche des neuen Scantisches sind die Halbleiterinspektion, Messanlagen, Messgeräte sowie alle Bereiche, in denen typischerweise Luftlagertische verwendet werden.